同机构人员：

• 刘明
  刘明博士，1981年刘明考入合肥工业大学，先后获得学士、硕士学位；1998年获得 北京航空航天大学博士学位；2000年被聘为中国科学院微电子研究所研究员和纳米加工与新器件集成技术研究室主任；2008年......