走出实验室——徐静博士率队实现1到100

和老师吴亚明一样,徐静认为自己也是一个MEMS工程师。

在中科院时,她不习惯被称作“科学家”,喜欢彼此称呼为“老师”。后来她成了中科米微的技术总监,“始终不习惯被叫徐总”,这是她第一次到企业工作。

2004年,徐静从浙江大学取得光学工程博士学位后,来到中科院微系统所,成为吴亚明课题组的博士后。在反复打磨工艺流程、设计试验的过程中,徐静逐步掌握了MEMS设计、仿真、流片、封装、测试工作。在研究所,她参与多个国家项目,是个“多面手”。

很快,她学会了如何实现MEMS芯片的从0到1,但1到100应该怎样做?还是未知。

尽管前路未知,在时代浪潮的推动下,她和老师吴亚明还是坚定地迈出了光通信MEMS芯片产业化这一步。

2012年,团队离开了国家重点实验室开始投身于MEMS芯片产业化;

2013年,团队做出了第一款打通整个工艺流程的光通信MEMS芯片样品,突破了MEMS垂直梳齿制作工艺;

2015年,项目加入上海微技术工业研究院(SITRI)进行孵化,依托国内MEMS代工线,打通了光通信MEMS芯片产业化所需的完整产业链,通过了多家光通信器件公司的MEMS芯片测试与试用;

2018年,正式成立中科米微公司运营。

产业化的路,一走就是6年。这6年,不仅解决了芯片可靠性的问题,还突破了多台阶刻蚀、硅-硅键合、台阶套刻对准、光学镜面去胶处理以及光学MEMS特有的划片、芯片后处理等技术难题。

不同于IC芯片代工厂已经有成熟、标准的芯片设计、流片、代工和封测工艺,光学MEMS芯片的每个环节都缺乏规范、缺乏标准流程与工艺,一切都需要艰苦摸索、积累。在6年时间内,团队去到国外数次晶圆流片,虽然晶圆流片成功,但成本太高、生产周期长、需求响应慢,不具备市场竞争力。为实现全国产化的芯片产业链,晶圆流片转回国内,然而经历了一次晶圆流片失败后,对团队打击很大,当时大家都有点心灰意冷。吴亚明偶然得知安徽有家MEMS代工厂可以流片,虽然他们此前并没有此类光通信MEMS芯片产品的流片经验,吴亚明还是决定再试一次。

功夫不负有心人,这次晶圆流片成功了!后来,中科米微还在安徽注册了分公司,与该代工厂保持了长期合作。

流片成功后,接下来就需要量产,把芯片产品推向市场这时候,需要有投资,需要成立公司,不过吴亚明和徐静对这块经验不足、人脉不广,虽与投资人进行广泛接触,但还是未能拿到投资,不由得陷入困境。

船到桥头自然直,一个叫吴凯文的人出现了。


徐静 可能工作过的组织/机构/部门/团队:


徐静 可能工作过的同事:

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