徐静简历 | 徐静简介 | 徐静生平 | 徐静履历

2022-11-13 20:32

走出实验室——徐静博士率队实现1到100

和老师吴亚明一样，徐静认为自己也是一个MEMS工程师。

在中科院时，她不习惯被称作“科学家”，喜欢彼此称呼为“老师”。后来她成了中科米微的技术总监，“始终不习惯被叫徐总”，这是她第一次到企业工作。

2004年，徐静从浙江大学取得光学工程博士学位后，来到中科院微系统所，成为吴亚明课题组的博士后。在反复打磨工艺流程、设计试验的过程中，徐静逐步掌握了MEMS设计、仿真、流片、封装、测试工作。在研究所，她参与多个国家项目，是个“多面手”。

很快，她学会了如何实现MEMS芯片的从0到1，但1到100应该怎样做？还是未知。

尽管前路未知，在时代浪潮的推动下，她和老师吴亚明还是坚定地迈出了光通信MEMS芯片产业化这一步。

2012年，团队离开了国家重点实验室开始投身于MEMS芯片产业化；

2013年，团队做出了第一款打通整个工艺流程的光通信MEMS芯片样品，突破了MEMS垂直梳齿制作工艺；

2015年，项目加入上海微技术工业研究院（SITRI）进行孵化，依托国内MEMS代工线，打通了光通信MEMS芯片产业化所需的完整产业链，通过了多家光通信器件公司的MEMS芯片测试与试用；

2018年，正式成立中科米微公司运营。

产业化的路，一走就是6年。这6年，不仅解决了芯片可靠性的问题，还突破了多台阶刻蚀、硅－硅键合、台阶套刻对准、光学镜面去胶处理以及光学MEMS特有的划片、芯片后处理等技术难题。

不同于IC芯片代工厂已经有成熟、标准的芯片设计、流片、代工和封测工艺，光学MEMS芯片的每个环节都缺乏规范、缺乏标准流程与工艺，一切都需要艰苦摸索、积累。在6年时间内，团队去到国外数次晶圆流片，虽然晶圆流片成功，但成本太高、生产周期长、需求响应慢，不具备市场竞争力。为实现全国产化的芯片产业链，晶圆流片转回国内，然而经历了一次晶圆流片失败后，对团队打击很大，当时大家都有点心灰意冷。吴亚明偶然得知安徽有家MEMS代工厂可以流片，虽然他们此前并没有此类光通信MEMS芯片产品的流片经验，吴亚明还是决定再试一次。

功夫不负有心人，这次晶圆流片成功了！后来，中科米微还在安徽注册了分公司，与该代工厂保持了长期合作。

流片成功后，接下来就需要量产，把芯片产品推向市场这时候，需要有投资，需要成立公司，不过吴亚明和徐静对这块经验不足、人脉不广，虽与投资人进行广泛接触，但还是未能拿到投资，不由得陷入困境。

船到桥头自然直，一个叫吴凯文的人出现了。


徐静 可能工作过的组织/机构/部门/团队：

中科米微   浙江大学   中科院微系统所   上海微技术工业研究院   中科米微公司  

徐静 可能工作过的同事：

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